SUMEC TOUCH WORLD

C.DIFF是centrotherm提供的一款享有盛誉的多用途扩散系统，可在高效太阳能电池制程中形成可靠的发射极。该低压系统可应用于P型和N型品体硅太阳能电池的生产。

得益于其宽泛的工艺窗口和灵活的工艺控制性能，即使在方阻为200/sq的情况下，C.DIFF仍可提供优质、可靠的均匀发射极。管式生产系统的独特优势在于其在不同生产负荷和工艺步骤中的高度灵活性，即当其中一根炉管进行维修、关闭或工艺优化时，其他炉管仍可继续工作。

根据特定的生产要求，centrotherm可提供定制化配置，如在工艺压力、产能及自动化水平等方面。

除具有高度灵活性和多功能处理能力的5管C.DIFF LP外，近期推出的C.DIFF X可以大大提高产能。10根炉管配置，可处理硅片的边长达210mmDc.DIFFX是为了更好的服务于各大P型高效太阳能电池制造商而开发的高产能设备。

系统描述

· 全自动石英舟操作系统,使炉管的利用率最大化

· 5根独立运行的、堆叠的石英炉管(可选碳化硅)

· 与生产能力相匹配的配置(炉管数量、背靠背装载方式自动化级别等)

· 得益于占地面积小和热载能耗低，其具有最低的生产运行成本

· 易于集成在MES或生产控制系统中

· 可兼容所有常规自动化解决方案

客户收益

· 优质的双面扩散工艺(高效的吸杂效果提升了材料质量)

· 先进的水冷却系统可防止不同炉管间的热干扰

· 独立运行的炉管可实现生产冗余,使设备利用率更高

· 极高的清洁度(气相扩散没有残余)

选配项

· 碳化硅(SiC)工艺舟

· 连接至POCl3供应系统

低压扩散的优势

高效太阳能电池生产工艺

· 优异的扩散均匀性

· 极高的方块电阻(300Q/sq)

· 新一代用于先进太阳能电池概念的扩散工艺，如：Topcon钝化接触

· 快速改变的气体气氛可以建立新的扩散条件,进而更

· 好的调整发射极的掺杂曲线

极低的运营成本

· 相同产能 下通过减少设备数量使占地空间最小

· 极低的物料和动力消耗(POCl3节省达50%)

热生产解决方案和涂层技术是centrotherm的核心竞争力。70多年来，我们一直致力于为不断增长的全球客户群开发和实施生产解决方案。除了半导体、微电子及光伏等成长型领域外，我们的创新解决方案也被应用于以未来为导向的领域，如纤维或电池的生产。作为一家领先的、活跃于全球的科技集团，我们与工业和研究领域的合作伙伴建立了紧密合作关系，共同改进了现有的生产理念，开创了行业新趋势。基于此，我们为客户创造了极具价值的竞争优势。全球拥约600多名员工，我们共同致力于绿色、智能、高效的塑造未来。

centrotherm公司长期从事热解决方案的创新开发，迄今已60余年。作为一家居于领先地位的全球性运营技术集团，我们提供光伏、半导体与微电子工业的生产解决方案。 我们持之以恒地从事热处理与涂层解决方案的开发，在诸如晶硅太阳能电池与功率半导体器件制造方面持续不断地取得成功，并在此基础上与业界和研发机构建立了成功的合作关系。 我们的客户遍布世界各地，他们高度评价我们的生产系统在批量生产过程中的工艺稳定性、可量测性与可利用性。此外，我们创造的高端工艺技术解决方案专为我们的客户量身定制，满足他们的要求，而且系统的构建不同凡响，因而享有盛誉。 我们共同面对日复一日的挑战，顺应新潮流、实现太阳能电池与半导体等产品的生产效率最大化、延长我们机器的使用寿命，并确保投资安全。通过目标明确的工艺流程与生产解决方案创新，为我们的客户建立宝贵的竞争优势。