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真空镀膜机
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Japan
Main Products:
生产石英器件、光学薄膜、电子设备等的全真空设备及组件 :真空蒸发设备/溅射设备/镀液设备/原子层沉积设备/干法蚀刻、灰化设备/真空冶金设备(溶解、热处理、烧结、脱气)/薄膜光学监视器(多色、单色)/IAD冷阴极离子源/液晶注射设备等
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产品描述

昭和真空镀膜机SGC-S900CWI

特征

近红外区域的高精度性能控制!

最适用于激光器类产品!

自动翻转结构实现双面镀膜!

RF离子源实现高功率的蒸镀辅助!

 

主要结构

 

主要规格

产品参数

参数名称数值范围说明(选填)
占地W4,000×D5,800×H2,637mm 
翻转结构8轴/8片(※自动翻转结构实现双面镀膜)
排气系统22 inchCP×1、MBP、DRP×1、冷阱 
基板加热加热丝 350℃ or 卤素灯150℃ 
电子枪180° or 270°偏向型 
离子源栅网结构RF离子源 ISG-130 
水晶膜厚监控仪6点晶控+ COÅT LEADERⅡ 
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