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不规则非球面光学元件应力分布测量系统（光刻机透镜测量等）

不规则非球面光学元件（光刻机透镜等）应力分布测量系统

利用光弹调制器技术，Hinds 公司的应力双折射测量系统可以在深紫外（193nm）波段进行应力双折射探测。针对特定材料制作（氟化钙）和特定形状（非球面透镜）有着独特的技术解决方案。

应力双折射测量系统，非球面透镜应力双折射测量，应力椭偏仪，应力椭偏测量

Hinds 公司的不规则非球面光学元件应力分布测量系统（应力双折射测量系统）通过对光的调制解调可以测出待测光学元件中的双折射大小和方向，这些数据同时也表示了应力的大小和方向。Hinds 公司这套不规则非球面光学元件应力分布测量系统独创的倾斜，多角度入射扫描技术可以保证对非球面不规则的光学元件（光刻机透镜等）有着完美的扫描测量解决方案。

产品特点：
1. 全套内置软件自动扫描成图
2. 非球面扫描（手动宏程序）
3. 应力大小及方向分布探测成图
4. 定制各种尺寸形状样品台
5. 探测强度：皮瓦

产品参数：
1. 可见光波段探测延迟范围：0 to 300+nm
2. 深紫外波段探测延迟范围：0 to 90+nm
3. 可见光波段应力探测精度：0.001nm / ±0.03 (up to 3nm, 1% thereafter)
4. 深紫外波段应力探测精度：0.001nm / ± 0.08 nm (up to 4nm, 2% thereafter)

美国Hinds Instruments, Inc公司是世界著名的（同时也是世界唯一的一家）光弹调制器（photoelastic modulators）生产商。Hinds Instruments公司的PEM光弹调制器可以控制光束的偏振状态的改变，调制速率为20~100kHz。光弹调制器（PEM）的作用就像一个“动态的波片”，可以使快轴和慢轴之间产生一个周期变化的折射率差，从而控制透过光束的偏振进行周期性的变化。

具体而言，即光弹调制器（photoelastic modulators）通过对线偏振光添一定的相位使输出光在圆偏振、椭圆偏振、线偏振等状态之间井进行变化，同时光弹调制器（PEM）还可以使光在左旋、右旋两种状态之间进行切换。

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