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Automatic optical inspection machine
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Taiwan, China
Main Products:
Automatic optical inspection machine
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Product information

应用
8、12吋 Wafer
晶圆进料检验(入料) IQC、成品出厂检验OQC

  • 2.5D/3D IC
  • Fan-out Wafer Level Packaging (FOWLP)
  • Fan-out Panel Level Packaging (FOPLP)

最小检出缺陷尺寸
1µm

功能特色

  • 高精度转塔检测系统
  • 多光源配置设计(BF/DF)
  • 快速精准对焦系统(Auto Focus System),实现影像质量最佳化,可支援复杂设计之multi layer wafer
  • 超级大die功能(one chip on full 12" Wafer)
  • 多功能2D量测系统,可量测各式关键尺寸(Critical Dimension) 如:RDL CD, Pad open CD, Bump Diameter…
  • CAD Import Function便捷设计,可大幅节省Recipe建立时间
  • 边缘检测功能(EBR Function),可支援多种晶圆产品(Wafer/方片)(Option) 

选配

  • Color Filter
  • 高翘曲(high warpage)晶圆解决方案,最高可支援±7mm(Option)
  • 多芯片模块晶圆应用Multi Die Function 
  • OCR SEMI标准字符识别,识别率>99%
  • 手持式 Barcode Reader/ RFID 功能
  • 特殊Al学习,分规准确率>90%
  • JDView离线复判软件,可提供Map叠图分析
  • Recipe 离线编辑功能
  • Recipe 共享功能 (Recipe Server)
  • SEMI S2/S8 认证
  • SECS/GEM 通讯系统
  • 可支援自动化传送系统(OHT/AGV/MGV...)

关键缺陷

  • RDL Damage
  • Pad Open
  • Short
  • Residue
  • Particle
  • Scratch

关键量测

  • RDL CD
  • Pad Open CD
     
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