苏美达达天下

晶圆传送系统

产品适用范围:

wSs2200设计有标准的四个装载端口(Load Port)。可应用于6英寸和8英寸晶圆尺寸。这些端口设计用于处理6英寸SEMl Std.0pen Cassette和8英寸SEMl Std. Open Cassette。

在晶片传送过程中,机械臂移动到指定的输入装载端口以进行晶片装载过程。x，Y和Z轴的运动由Hirata机器人控制器控制。从输入装载端口装载的晶圆被传送到预对准器以进行晶圆方向检查，并通过OCR读取并通过TCPIP或SECSGEM将对准的晶圆ID记录到电脑或客户端。晶片通过配方控制从输入装载端口转移到输出装载端口。

产品优势:

1.采用高精度机械手臂，晶圆传送破片率极低。

2.高晶圆传送率，高WPH (Wafer per Hour)。

QES MECHATRONIC（简称“QES”）成立于1999年6月，总部位于马来西亚雪兰莪州莎亚南区，并于2000年开始运营，QES MECHATRONIC SDN BHD（简称“QMC”）是QES的全资子公司。通过不断地研发以及技术合作伙伴关系使其如今成为全球制造商。QES致力于研发与制造半导体设备包括全自动框架材料检测系统，晶圆检测与测量系统，以及晶圆搬运系统。

苏美达国际技术贸易有限公司成立于1999年3月，是苏美达股份有限公司的核心骨干企业，隶属于中国机械工业集团有限公司。国机集团是由中央直接管理的国有重要骨干企业之一，2021年位居世界500强第284位。公司主要经营机电设备招标与进口、大宗商品（钢铁、矿产、煤炭、石油衍生品、林产品、纺织原料等）的进出口与国内贸易，总部位于江苏南京，在迪拜、越南、新加坡、香港、北京、上海、天津、广州、深圳、成都、重庆、厦门、海口、镇江、无锡等地设有20余家全资及控股子公司，并在日照、青岛、唐山、邯郸、常州、宁波、佛山、南宁等地设有分支机构。经过多年发展，公司已成长为全国范围内最大的机电产品进出口供应链服务提供商和最具影响力的大宗商品综合运营商，并形成营业收入超1000亿元、进出口总值超80亿美元的综合运营能力，得到市场的一致认可和广泛赞誉。