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EFEM晶圆传送设备
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中国台湾
主营产品:
晶圆传送设备
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商品详情

产品类型:EFEM(晶圆传送)

设备尺寸: 1,500x 805x 2,133/mm(可依客户需求调整)

核心组件:ROBOT、LoadPort、OCR、Pre aligner

主要功能:搭配客户所需机台做晶圆传送

性能优势:提供高产能、高整合式设计及更高的可靠性

保修政策:本公司产品均自交机日期保固一年(保固期依实际订单为依据)

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