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iRP电浆清洁暨表面改质系统是一款单腔批次式电浆清洁设备，利用integrated-Remote Plasma技术，

整合各頫电浆源与特殊气体分流机构所设计而成的多用途电浆制程设备，

可用於光电/半导体等元件表面清洁、改质，搭配氟素气体，可进行薄膜蚀刻制程。

iRP产品应用范围
1.元件表面去除有机物

2.亲水性/疏水性制程

3.晶圆再生表面清洁(Wafer Reclean)

4.绿漆层表面清洁(Solder mask clean)

5.去除光阻残留(Descum Process)

6.PI/PR乾膜去除与蚀刻

7.蓝膜制程清洁(Blue tape Clean)

8.雷射钻孔完之通孔/盲孔胶渣去除(Desmear)

9.SINx/SIO2介电层薄膜去除及蚀刻

10.PSS制程前表面清洁

富临科技成立于1997年，以 ”真空镀膜技术” 为核心，经过二十多年淬练，已经为 LED产业界，

提供了超过 1500台的 蒸镀量产系统（E-Gun/Thermal Evaporator System），成为 LED 产业链，重要的设备提供者。

近年来，富临科技的设备整合技术不断提升，并顺利发展出 连续式溅镀系统（In-Line Sputter）， 

光学镀膜系统（Optical Coater），枚叶式溅镀系统（Cluster Type In-Line Sputter）等高难度的量产设备，

适用EMI Coating防电磁波镀膜，工具及装饰镀膜 或Touch Panel制造，实为 设备国产化的技术领导者。

此外，针对于 化学气相沈积(CVD)设备之需求，也陆续发展出ALD-CVD等设备，广泛应用于 能源产业（Solar Cell/薄膜电池）。

而蚀刻设备的开发，富临 亦发展出 电浆蚀刻系统（Plasma Etch Clean System），以满足 国内外半导体光电产业的需求。