苏美达达天下

●托盘搬运适用于2~8寸

多种基板尺寸

●可对应SiO2 SiNx低温底应

爱发科的前身是1952年创立的日本真空技术株式会社。由年轻的工程师创立，在六位天使投资者的资助下开始创办真空事业。今天的爱发科集团在全球有49家子公司，全球员工6,370人，其中中国员工1,572人，2019年度销售额达到1,854亿日元，企业专利4,836项。

爱发科始终怀抱创业精神，锐意进取，追求尖端创新，与各行业的制造商携手合作，提供广泛应用于液晶平板显示器、半导体和电子元器件生产的真空装置，还将真空技术应用到汽车、食品、制药和其他一般行业的生产。

ULVAC 集团广泛运用真空技术，全面覆盖真空业务领域，一直致力于真空技术的发展和创新，为了解决客户难题，为了行业发展，也为了全世界更美好的生活。

 爱发科真空技术（苏州）有限公司是世界著名的真空设备制造商【株式会社ULVAC(爱发科)】在中国投资兴建的全资公司，于2003年7月在苏州工业园区设立，总投资1.035亿美元，注册资本3450万美元，占地面积七万多平方米。主要为功率器件、化合物半导体器件（功率器件及射频器件）、传感器（MEMS、红外等）、光通信及光电器件、滤波器件（SAW/BAW）、薄膜电路等行业的企业、研究所及大学提供芯片生产及研发的相关设备，同时提供设备及周边产品的售后服务。