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PVD溅镀设备

富临科技溅镀镀设备已经广泛应用在市场，包括金属,金属化合物及氧化物等等应用范围:

学校、研究机构、LED业界，Laser Diode业界及其它等等。

富临科技成立于1997年，以 ”真空镀膜技术” 为核心，经过二十多年淬练，已经为 LED产业界，

提供了超过 1500台的 蒸镀量产系统（E-Gun/Thermal Evaporator System），成为 LED 产业链，重要的设备提供者。

近年来，富临科技的设备整合技术不断提升，并顺利发展出 连续式溅镀系统（In-Line Sputter）， 

光学镀膜系统（Optical Coater），枚叶式溅镀系统（Cluster Type In-Line Sputter）等高难度的量产设备，

适用EMI Coating防电磁波镀膜，工具及装饰镀膜 或Touch Panel制造，实为 设备国产化的技术领导者。

此外，针对于 化学气相沈积(CVD)设备之需求，也陆续发展出ALD-CVD等设备，广泛应用于 能源产业（Solar Cell/薄膜电池）。

而蚀刻设备的开发，富临 亦发展出 电浆蚀刻系统（Plasma Etch Clean System），以满足 国内外半导体光电产业的需求。