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直接铜键合马弗炉
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德国
主营产品:
真空焊接系统,用于直接铜焊接(DCB)的马弗炉,传送带炉
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商品详情

c.DCB是成熟的传送带式马弗炉,该设备在直接铜键合(DCB)应用上提供了可靠的工艺方案及优秀的工艺性能,以确保经济和高效的生产。
PLC系统通过总线连接用以监视和控制所有相关的工艺参数。并通过对记录的工艺数据自动归类和质量管控使系统更加完善。
设备工艺通道腔室内的气体纯度和气体流量对产品质量起着核心作用。所有c.DCB有优秀的气密包裹性,且具有优良的温度和工艺气体控制性能。

参数名称 数值范围 
工艺温度1075°C (max. 1160°C)
传送带间温度均匀性± 1.5 K
可支持的工艺气体N2, O2, air
常规传送带速度50 - 300 mm/min
加热区长度5000 mm
冷却区长度8500 mm
加热区数量16
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