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缺陷管理系统-DMS
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主营产品:
智能制造软件
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商品详情

  1. DMS是一款缺陷改善管理系统:帮助用户用更简洁、高效的方法对缺陷的平面分布和履历进行分析
  2. 基于半导体工厂具有坐标的缺陷:对半导体工厂缺陷数据进行处理和转换,生成清晰而直观的缺陷位置分布图
  3. 较强的灵活性和可扩展性:可与EDA,YMS等模块结合,实现多角度、多层次的缺陷数据分析

功能特点

  • 缺陷查询:能够查询缺陷数据并对缺陷数据进行编辑,可自由选择要进行分析的缺陷数据进行不同分析
  • Map展示:将缺陷点根据坐标转换成缺陷Map图,可快速查看出每片产品的缺陷分布情况
  • Map堆叠:可将不同产品缺陷Map堆叠到一起,从而快速分析出缺陷高发位置以及缺陷聚集形态,并于设备结构坐标做对比
  • 缺陷履历分析 :可通过同一产品在不同阶段的坐标进行对比,从而判断和追溯缺陷的产生原因,从而分析出缺陷产生的原因
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