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先进制程管理系统(高级制程管理系统)-APC/R2R
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主营产品:
智能制造软件
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商品详情

  1. 降低pilot wafer用量:借由准确feedback,可以在最短时间内使输出值接近目标值,可以大幅减少 pilot wafer 的使用
  2. 改善产品Cpk:APC可以使产品有效控制在目标值附近,保证产品质量
  3. 减少OOS发生率:将可能影响因子完整考量到算法中,能有效降低outliner的发生
  4. 减少MO发生率:经由完整系统运作,可以大幅减少需要人员操作的机会,并加上系统中对于补偿值的卡控从而减少MO的发生
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