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FSM 128系列系统是室温、全晶圆2D/3D应力映射系统。128个系统使用FSM的专利非接触式Opti-Lever双激光自动开关技术，该技术具有微定位探测器，可以在从小到大弓或应力的大动态范围内高精度测量激光束偏转。FSM的应力计能够在秒内扫描每英寸1000个点，对未加工和有图案的晶圆片进行高分辨率、高精度的应力映射。

128L C2C

专用薄膜应力映射系统具有高分辨率的高通量过程控制。全自动盒式到盒式，SECS/GEM兼容300mm薄膜应力和弯曲测量工具。双FOUP或单FOUP配置可用。集成晶圆衬底厚度测量可用。

FSM为半导体、LED、太阳能、FPD、数据存储和MEMS应用提供一系列先进的计量产品和解决方案。我们在应力测量、薄膜附着力测试、晶圆形貌测量和电气特性方面拥有超过25年的经验。我们最新的产品包括独特的技术，以满足3DIC制造的计量需求，并监测大型平板的应力。

北京民臣科技有限公司是多年多位从事设备金融、科研转化，有着强大的行业背 景，公司团队在科学仪器 设备经营管理、物联网技术、人工智能、实物资产管理领域有着丰富的从业经验。 公司紧扣人工智能和 5G 通信带来的行业变革、致力于科学仪器设备经营性租赁、 贷后管理智能化、租赁物管理智能化和资产运营分析智能化解决方案。
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公司经营进口实验室仪器、设备。气相色谱、液相色谱、离心机、离心浓缩 机、超低温冰箱、培养箱、凝胶成像 / 化学发光成像系统、微生物鉴定与药敏 分析系统、超声清洗与超声破碎系统、紫外分光光度仪、重量稀释器、螺旋接种 仪、菌落计数器、蠕动泵、超纯水系统、电子天平、旋转蒸发仪、水份测定仪、 导热系数测量仪、移液器及生化试剂等各类实验室仪器。
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