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JASOC 900光学薄膜镀膜机
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中国
主营产品:
光学薄膜成膜装置的制造、销售,真空设备安装、维护服务,从事真空设备技术领域内的技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务,从事货物进出口及技术进出口业务。
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商品详情

罗真空腔体:SUS304, Ø900mm x 1200mm(H)
● 工件盘尺寸:Ø790mm
● 工件盘旋转速度:0rpm ~ 60rpm可调
● 光学膜厚监控:波长范围 400nm ~ 2400nm
● 电子枪1式;六点旋转式阻蒸
● 离子源:霍尔源,PDS,RF射频源可选
● 排气系统:机械泵 + 罗茨泵+冷泵
● XTC/3+六点旋转式水晶探头

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