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JASOC 1350光学薄膜镀膜机
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中国
主营产品:
光学薄膜成膜装置的制造、销售,真空设备安装、维护服务,从事真空设备技术领域内的技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务,从事货物进出口及技术进出口业务。
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商品详情

● 真空腔体:SUS304, Ø1350mm x 1450mm(H)

● 工件盘尺寸:Ø1200mm

● 工件盘旋转速度:0rpm ~ 60rpm可调

● 光学膜厚监控:波长范围 400nm ~ 2400nm

● 电子枪2式&抵抗加热阻蒸(多点可选)

● XTC/3 + 六点旋转式水晶探头

● 离子源:多选,霍尔源,PDS,RF射频源可选

● 排气系统:机械泵 + 罗茨泵 + 冷泵

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