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MPAS-1100多用途微波激励磁控溅射镀膜机
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主营产品:
光学薄膜成膜装置的制造、销售,真空设备安装、维护服务,从事真空设备技术领域内的技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务,从事货物进出口及技术进出口业务。
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商品详情

● 真空腔体:SUS304, Ø1100mm x 780mm(H)

● 工件盘尺寸:152mm(W)×6mm(T)×555mm(H)×20枚

● 工件盘旋转速度:0rpm ~ 60rpm (磁流体密封)

● 光学膜厚监控:波长范围 400nm ~2400nm

● 直接监控(选配):in-situ(option)

● 水晶膜厚计:两点式水晶探头+水晶厚膜控制仪

● 到达压力:≦6.0X10-5Pa

● 恢复真空:30 分钟之内达到1.3X10Pa

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