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kSA 400 RHEED图形分析系统，适合各种薄膜沉积系统（如：脉冲激光沉积设备PLD,溅射系统Sputtering,分子束外延MBE, 金属有机化学气相沉积MOCVD等）上的RHEED系统。目前第四代系统结合优质的硬件和软件，为客户提供丰富的RHEED分析信息。

原理

软件分析RHEED反射式高能电子衍射，对来自样品薄膜的衍射图像进行采集，并通过系统自动计算测量晶格间距、共振长度和振动强度，同时通过衍射条纹的强度震荡曲线检测薄膜沉积速率。

分析功能

同时测量晶格间距、相干长度和晶体表面结构演化；薄膜沉积速率和沉积厚度分析；三维衍射图像分析等。

基本配置

     • CCD系统：标准型，高分辨型
     • 光学系统：RHEED定量分析及成像分析
     • 标准接口法兰（可定制）

主要特点和功能

     • 衍射图像采集采用先进的CCD和光学系统

     • 实时的薄膜生长速率测量

     • 实时晶格间距和表面均匀性分析

     • 专业的技术支持

     • 多个品牌的电子枪全面控制功能可供选择

     • 适用于多种薄膜沉积系统：MBE、 PLD、溅射和电子束蒸发等

     • 持续不断的软件系统更新

可选功能

     • 包含锁相外延生长（PLE）

     • 低能电子衍射（LEED）

     • 俄歇电子能谱（Auger）

     • 光电子能谱（XPS）等

实际应用

主要用于安装在真空薄膜沉积设备上，在薄膜生长过程中，对该薄膜材料的多项物理特性进行实时原位的分析，进而进一步指导和优化薄膜的生长工艺。

k-Space Associates, Inc. is a leading global supplier of advanced metrology systems for thin-film and industrial metrology applications. k-Space serves over 1,000 companies, government agencies and universities spanning 44 countries. 

Our thin-film metrology applications focus on optical methods for precision measurement of thin-film and wafer temperature, stress, curvature, bow, deposition rate, reflectivity, spectral reflectance and transmission, and reflection high-energy electron diffraction (RHEED). Our industrial metrology solutions cover many industries, including glass, solar, automotive, and building materials. These solutions utilize optical methods to measure color, precise part dimensions, surface defect inspection, and more.

Founded in 1992 and known for custom development and unparalleled technical support, our metrology systems are used in research and production facilities around the world. 

巨力光电（北京）科技有限公司立足于北京市副中心通州区，专门经销欧洲、美国、日本等国家制造的先进科学仪器设备，为客户提供完备的售前咨询和售后服务、技术支持。公司骨干在该行业有超过10年的经验，专业的服务水平、完善的售后服务体系。       

目前主要产品涉及材料科学、微纳米技术、表面测量和光电器件、光伏产品、半导体器件的检测与研发等领域。公司本着以科技为导向、以客户为中心、以服务为宗旨，竭诚为新老客户提供优质的服务！