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海杰兴 全自动激光开槽机
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中国
主营产品:
晶圆激光切割
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商品详情

海杰兴科技自主研发的全自动激光开槽机,涵盖纳秒与皮秒双系列,适用于多种特殊材料晶圆的精密加工,包括:

1.Low-K材料、氮化镓(GaN)、碳化硅(SiC)晶圆的开槽

2.厚背金晶圆的全切

3.超薄晶圆的全切

 

纳秒系列——以高效率见长,满足量产需求;

皮秒系列——以高精度、低热影响取胜,确保加工质量。

 

此外,设备支持背切及跨步跳切功能,适应复杂工艺场景,提升生产灵活性与良率。

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