苏美达达天下

设备名称：SiC 外延炉

设备型号：YS-E06S01

设备功能：CVD 法生长 SiC 同质外延

衬底尺寸：4 吋兼容 6 吋、6 吋兼容 8 吋

片内厚度不均匀性：＜2%

片内掺杂浓度不均匀性：＜5%

形貌缺陷密度：＜1 个/cm²

设备特点：

1、具备 n、p 型及高速率的外延生长能力；

2、高均匀性、低缺陷的 SiC 外延质量；

3、RUN TO RUN 性能优异；

4、供液一体化系统。

         企业简介

        广州粤升半导体设备有限公司是一家专业研发生产半导体设备的公司，成立于2021年。公司专注于碳化硅外延设备、碳化硅晶体生长设备的研发和生产，助力客户生产高质量的碳化硅外延片和晶片。公司拥有一流的技术团队和先进的生产设备，为客户提供高端、高效和高可靠性的解决方案。公司致力于成为世界一流碳化硅设备供应商，通过提供优质的产品和服务，推动碳化硅产业的发展，创造美好的生活。

公司文化

发展历程

员工风采

荣誉资质

       企业简介

        广州粤升半导体设备有限公司是一家专业研发生产半导体设备的公司，成立于2021年。公司专注于碳化硅外延设备、碳化硅晶体生长设备的研发和生产，助力客户生产高质量的碳化硅外延片和晶片。公司拥有一流的技术团队和先进的生产设备，为客户提供高端、高效和高可靠性的解决方案。公司致力于成为世界一流碳化硅设备供应商，通过提供优质的产品和服务，推动碳化硅产业的发展，创造美好的生活。

公司文化

员工风采

发展历程

荣誉资质