苏美达达天下

设备名称：液相法 SiC 单晶炉

设备型号：YS-C08S01

设备尺寸：L1300×W1300×H3600mm

适用工艺：LPE 法 (兼容 PVT 法)

长晶尺寸：6 吋兼容 8 吋

主炉腔体：不锈钢

籽晶/坩埚升降行程：200mm

籽晶/坩埚旋转速度范围：0.1-200rpm

可加热温度范围：800℃~2800℃

设备特点：

1、高真空度，高品质泵体、密封设计，各部件严密结合，保障长晶环境；

2、高精密性，高品质电控系统、传动系统、零部件，保障设备精密性和运行稳定性；

3、自主开发，具有自主知识产权，生产制造不受制约，供货稳定，可接受定制。

4、已通过国内知名 SiC 衬底公司验证，并可兼容 8 英吋晶锭

         企业简介

        广州粤升半导体设备有限公司是一家专业研发生产半导体设备的公司，成立于2021年。公司专注于碳化硅外延设备、碳化硅晶体生长设备的研发和生产，助力客户生产高质量的碳化硅外延片和晶片。公司拥有一流的技术团队和先进的生产设备，为客户提供高端、高效和高可靠性的解决方案。公司致力于成为世界一流碳化硅设备供应商，通过提供优质的产品和服务，推动碳化硅产业的发展，创造美好的生活。

公司文化

发展历程

员工风采

荣誉资质

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        广州粤升半导体设备有限公司是一家专业研发生产半导体设备的公司，成立于2021年。公司专注于碳化硅外延设备、碳化硅晶体生长设备的研发和生产，助力客户生产高质量的碳化硅外延片和晶片。公司拥有一流的技术团队和先进的生产设备，为客户提供高端、高效和高可靠性的解决方案。公司致力于成为世界一流碳化硅设备供应商，通过提供优质的产品和服务，推动碳化硅产业的发展，创造美好的生活。

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