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晶圆激光划片/切割机
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主营产品:
晶圆激光退火、晶圆激光打标、晶圆激光解键合、晶圆激光开槽、晶圆激光划片、晶圆级激光打标、全自动激光去溢胶、IC全自动激光打标、框架激光打标、三光抽检
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商品详情

晶圆激光划片/切割机 | LS

应用领域

TAIKO环切割,Si/SiC晶圆、 Si/SiC晶圆背金激光划片

产品特点

多种激光运行模式与光束整形,保证最佳切口质量和效率

波前校正技术确保高精度加工和一致性

自动定位、自动调焦、自动检测,保证生产良率

大图形自动分切或手动分切选择,拼接精度高达±1μm

支持翘曲片、TAIKO片传输

技术指标 
激光波长355nm
激光输出功率15/30W
加工方式扫描式与直线平台 / 旋转平台组合运动,自动图形拼接
定位精度±1μm
加工精度±5μm
晶圆尺寸6寸、8寸、12寸
崩边<10μm
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