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LOW-K晶圆激光开槽机
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主营产品:
晶圆激光退火、晶圆激光打标、晶圆激光解键合、晶圆激光开槽、晶圆激光划片、晶圆级激光打标、全自动激光去溢胶、IC全自动激光打标、框架激光打标、三光抽检
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商品详情

LOW-K晶圆激光开槽机 | LG

应用领域

LOW-K晶圆表面开槽和划线

产品特点

8/12寸兼容

超快紫外皮秒激光器,工艺效果良好

自动调节开槽宽度

自动对焦、特殊图像记忆识别、手动自动切换功能

多CCD定位和复检功能

技术指标 
晶圆尺寸8寸、12寸
晶圆厚度70-700μm
划片道宽度≥40μm
开槽宽度30-80μm可调
加工速度300-1000mm/s
定位精度±2μm
开槽深度10-20μm
切深误差±3μm
整片开槽误差±8μm
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