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晶圆激光标刻机
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主营产品:
晶圆激光退火、晶圆激光打标、晶圆激光解键合、晶圆激光开槽、晶圆激光划片、晶圆级激光打标、全自动激光去溢胶、IC全自动激光打标、框架激光打标、三光抽检
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商品详情

晶圆激光标刻机 | WLM

应用领域

硅晶圆、复合晶圆、SiC/Saphire晶圆精密标记

产品特点

超精细激光加工,深度精确可控

自动传片、高精度定位

自动检测标记效果

多重粉尘处理,最大限度控制颗粒度

技术指标 
激光波长355/532nm
激光功率10W/15W@355nm, 15W/30W@532nm
晶圆定位精度±0.1mm
标记重复精度±20μm
单点直径45-80μm
圆度>95%
晶圆尺寸6寸、8寸、12寸
字体标准SIMI字体
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