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浅结/超浅结晶圆退火
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中国
主营产品:
晶圆激光退火、晶圆激光打标、晶圆激光解键合、晶圆激光开槽、晶圆激光划片、晶圆级激光打标、全自动激光去溢胶、IC全自动激光打标、框架激光打标、三光抽检
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商品详情

浅结/超浅结晶圆退火 | LA

应用领域

BSI-CCD晶圆低能注入离子激活

产品特点

国内首创,8寸量产设备

精确能量密度控制

紫外波段激光、穿透深度小

大长宽比线形平顶光斑

低扩散深度的超浅结深控制工艺技术

技术指标 
晶圆尺寸6寸、8寸
结深≤50nm
杂质峰值扩散深度≤5nm
RS不均匀性<2%(片内/片间)
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