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激光诱导外延生长设备
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中国
主营产品:
晶圆激光退火、晶圆激光打标、晶圆激光解键合、晶圆激光开槽、晶圆激光划片、晶圆级激光打标、全自动激光去溢胶、IC全自动激光打标、框架激光打标、三光抽检
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商品详情

激光诱导外延生长设备 | LIEG

应用领域

纳米尺度直径、大深宽比孔内填充非晶材料激光诱导外延生长和void消除

产品特点

国内首创,12寸量产设备

激光多脉冲高精度合束调控技术

大光斑、高产能

低至5mJ/cm2的能量密度调控精度

技术指标 
激光波长532nm
晶圆尺寸12寸
能量调控精度5mJ/cm2
光斑顶部不均匀性≤1%
焦深范围5mm
工艺效果结晶及void消除
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