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激光诱导结晶设备
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中国
主营产品:
晶圆激光退火、晶圆激光打标、晶圆激光解键合、晶圆激光开槽、晶圆激光划片、晶圆级激光打标、全自动激光去溢胶、IC全自动激光打标、框架激光打标、三光抽检
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商品详情

激光诱导结晶设备 | LIC

应用领域

非晶材料的激光结晶及原位杂质激活

产品特点

全球首创,12寸量产设备

高均匀性的全自主LIET光学系统

低至5mJ/cm2的能量密度调控精度

nS级精确脉宽控制

技术指标 
激光波长527nm
晶圆尺寸12寸
能量密度调控精度5mJ/cm2
光斑顶部不均匀性率≤1%
焦深范围5mm
工艺效果一次扫描完成结晶和激活工艺
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