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6/8英寸感应式长晶炉
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中国
主营产品:
6/8英寸感应式长晶炉,6/8英寸电阻长晶炉
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商品详情

适用于6/8英寸碳化硅晶体生长,包括电源系统,电控系统,机械系统,气路压力控制系统,测温系统,热场装载系统,可实现自动升温、控温、自动压力控制、自动预警等。

加热电源:380V±10%     50Hz                       额定功率:50KW

加热方式:感应加热                                       长晶功率:18KW

最高温度:2500℃                                          最高频率:12-15KHz

最大压力:1大气压                                         长晶温度:1800-2200℃

冷态极限真空度:≤10^ (-5)Pa(冷炉)       真空室尺寸:φ500*900(D*H)mm

保护气氛:高纯氩气、氮气                            适合籽晶规格:6‘’-8‘’

主机尺寸:约为600*700*2100(长*宽*高)mm 

温度控制方式:自动控温PLC软件                 

主机重量:400Kg                                              控制方式:触屏式

 

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