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中国
主营产品:
高精密清洗、显影、湿法刻蚀、光阻剥离、涂布机等高端湿制程设备
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商品详情

适用工艺:CF、Array、TP

适用基板尺寸:All Size

适用基板厚度:≥0.3mm

刻蚀类型:Oscilation Type Shower 

设备类型:I 型,U 型,Line 型,定制化服务

工艺能力:

1、高均匀性超低压喷涂
2、工艺可靠性高,CD均匀性高
3、消泡管理
4、无雾、无辊痕、无污染、无划痕
5、运行成本低

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