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全自动显影清洗机设备
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中国
主营产品:
高精密清洗、显影、湿法刻蚀、光阻剥离、涂布机等高端湿制程设备
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商品详情

被清洗件规格:12英寸圆片,花篮规格(350mm×217×mm×310mm)

产能:1篮/批,13片/批

节拍:0~9min可调      

工艺流程:上料—显影---QDR—CDA干料—下料

控制:采用触摸屏+PLC控制

安全保护:具有液位保护、漏电漏液保护、加热循环保护等

骨架:国产优质Q235A骨架外包3mm厚PP-W板保护

外壳:10mm厚德国劳士领PP-W板焊接而成

台面:10mm厚德国劳士领PP-W板,表面钻φ12圆孔     

管路:管路位于机台下/后部,管道采用PP和PFA管路相互配合使用

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