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链式去PSG清洗机设备
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中国
主营产品:
高精密清洗、显影、湿法刻蚀、光阻剥离、涂布机等高端湿制程设备
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商品详情

1、适用工艺:TOPCon、PERC

2、HF槽有效长度:2.0~2.3米

3、轨道数:12道182;10道210

4、额定带速:4.5~5.0m/min

5、设备产能:182:≥16000片/小时;210:≥12500片/小时

6、设备特点:

1)高带速精准带液刻蚀滚轮滚轮,有效避免翻液及过刻;

2)精细化智能化动力水膜控制,无极控速控流,精密控制水膜量;

3)多匀流+多流道精确流体流场设计,液面更稳定;

4)多区流体液面控制,精确控制刻蚀阶段液面高度;

5)超级风刀,高带速吹干效果稳定

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