苏美达达天下

产品亮点
工艺单元叠层排布

 PSB内共6层PSRT

每个PSRT负责一层工艺单元内的晶圆传递

每一层最多可配置4个SPIN类工艺单元
12个CP&HP类工艺单元
根据不同用户需求，SPIN类单元可配置成涂布与显影单元，CP&HP类单元可配置成烘烤单元、底部增粘单元以及WEE等。SPIN类工艺单元(旋涂和显影)最多可配置24套，CP&HP类单元最多可配置72套

自研核心部件
高温陶瓷加热盘，多分区加热实现最佳的温度均匀性控制；二级精密计量泵，实现光阻的精确定量。

芯达半导体设备（苏州）有限公司，成立于2021年，注册资本2267万元，坐落于苏州工业园区。公司集研发、设计、制造、销售于一体，技术领域涉及：涂胶、显影、喷胶、单片湿法清洗、单片刻蚀、单片去胶等半导体设备（Coater/Developer/Spray/WetClean/Etch/Stripper）。技术团队深耕十余载专注于半导体相关技术领域。              
公司通过ISO9001质量体系认证，环境管理体系认证、职业健康安全管理体系，以标准规范的研发生产模式为客户提供合格满意的设备。同时我们愿意倾听每位客户的需求，不断改进推出适合客户应用、满足客户各种工艺生产需求的产品，与客户协力互助，实现共赢。

2023.2月 沈阳芯达半导体设备有限公司获批创新型中小企业

2023.4月 研制完成自主知识光刻胶精密定量泵、传片机器人

2023.4月 芯达半导体设备(苏州)有限公司获批科技型中小企业&创新型中小企业

2023.5月 沈阳芯达半导体设备有限公司&沈阳芯达科技有限公司分别获批科技型中小企业

2022.5月 芯达半导体设备(苏州)有限公司完成首轮融资

2022.5月 沈阳芯达科技有限公司获批省级专精特新企业及专精特新产品

2022.11月 芯达半导体设备(苏州)有限公司通过三体系认证

2022.12月 苏州总公司新厂房投入使用

2021.3月 沈阳芯达科技有限公司通过三体系认证

2021.9月 芯达半导体设备(苏州)有限公司成立

2021.12月 沈阳达半导体设备有限公司获批高新技术企业

2020年 全自动涂胶显影机、喷胶机、剥胶清洗机等产品的市场推广

2019.2月 沈阳芯达半导体设备有限公司成立

2019.4月 沈阳芯达科技有限公司净化间及实验室投入使用
2018.10月 完成5台定制化产品交付

2018.11月 沈阳芯达科技有限公司获批高新技术企业

2017.1月 沈阳达科技有限公司成立全年自主研发设备并进入客户端测试

芯达半导体设备（苏州）有限公司，成立于2021年，注册资本2267万元，坐落于苏州工业园区。公司集研发、设计、制造、销售于一体，技术领域涉及：涂胶、显影、喷胶、单片湿法清洗、单片刻蚀、单片去胶等半导体设备（Coater/Developer/Spray/WetClean/Etch/Stripper）。技术团队深耕十余载专注于半导体相关技术领域。              
公司通过ISO9001质量体系认证，环境管理体系认证、职业健康安全管理体系，以标准规范的研发生产模式为客户提供合格满意的设备。同时我们愿意倾听每位客户的需求，不断改进推出适合客户应用、满足客户各种工艺生产需求的产品，与客户协力互助，实现共赢。

芯达半导体设备（苏州）有限公司，总部设在苏州工业园区，经过7年多的发展，芯达半导体相关涂胶显影机等产品已经销售给国内半导体和泛半导体客户，形成累计一个多亿的订单。公司现有员工160余人，研发团队人员占一半以上。主研产品为22-90纳米工艺涂胶显影机，技术产品还包括单片湿法清洗机、去胶剥离机、单片刻蚀机、喷胶机等，适于科研院所技术研究及半导体工厂规模化生产的需要。

沈阳芯达科技有限公司自2017年1月开始商业运营，主营产品是集成电路制造专用涂胶显影设备、清洗设备、去胶剥离设备、单片刻蚀设备、喷胶设备等。本制造商设计及服务团队有10年该类产品的经验，公司开发制造主营产品近7年， 2018年9月，搬迁至新的生产基地进行生产制造，其中专用净化厂房3000M2，年制造该类产品80台套。
芯达半导体设备（苏州）有限公司全资控股沈阳芯达科技有限公司。法人为同一人。
 

芯达半导体设备（苏州）有限公司，总部设在苏州工业园区，经过7年多的发展，芯达半导体相关涂胶显影机等产品已经销售给国内半导体和泛半导体客户，形成累计一个多亿的订单。公司现有员工160余人，研发团队人员占一半以上。主研产品为22-90纳米工艺涂胶显影机，技术产品还包括单片湿法清洗机、去胶剥离机、单片刻蚀机、喷胶机等，适于科研院所技术研究及半导体工厂规模化生产的需要。
沈阳芯达科技有限公司自2017年1月开始商业运营，主营产品是集成电路制造专用涂胶显影设备、清洗设备、去胶剥离设备、单片刻蚀设备、喷胶设备等。本制造商设计及服务团队有10年该类产品的经验，公司开发制造主营产品近7年， 2018年9月，搬迁至新的生产基地进行生产制造，其中专用净化厂房3000M2，年制造该类产品80台套。