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Lift-off电子束蒸发镀膜机
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价格:
面议
品牌名称:
矽碁科技国家地区:
中国台湾
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国别: 中国台湾
主营产品: 磁控溅射、热蒸发、电子束蒸发、ALD、PEALD、RIE、PECVD 和 LPCVD
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品牌名称:
矽碁科技国家地区:
中国台湾
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中国台湾
主营产品:
磁控溅射、热蒸发、电子束蒸发、ALD、PEALD、RIE、PECVD 和 LPCVD
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商品详情
对传统热蒸发技术难以实现的材料蒸发,可采用电子束蒸发(E-beam Evaporation)的方式来实现。不同于传统的辐射加热和电阻丝加热,高能电子束轰击可实现超过3000℃的局域高温,这使得绝大部分常用材料都可以被蒸发出来,甚至是高熔点的材料,例如,Pt,W,Mo,Ta以及一些氧化物,陶瓷材料等。矽碁提供的电子束蒸发源可承载1-6种不同的材料,实现多层膜工艺;蒸发源本身防污染设计,使得不同材料之间的交叉污染降到最低。特别是针对Lift-off工艺的样品高温问题,设备配置了低温的样品台,可避免光刻胶碳化问题;样品台可倾斜以便选择不同角度进行蒸镀,可实现良好的覆盖性。
技术参数:
1. 本底真空10-7 Torr;
2. 基片台可定制,单片或多片;
3. 坩埚数量:1 ~ 6;
4. 坩埚防污染设计;
5. 石英晶振测量膜厚;
6. 样品可旋转并加热至:300℃/500℃/800℃;
7. 可配备离子束辅助沉积;
8. 可配备快速进样室;
9. 可与手套箱集成;
10. 可根据用户要求将其它镀膜技术与电子束蒸发集成,例如磁控溅射,热蒸发等;
11. 全自动控制系统;
12. 可选配带冷却功能的样品台,适合用于lift-off工艺;
13. 可选配倾角可调的样品台,增加薄膜的台阶覆盖能力。
店铺所有产品
磁控溅射(共溅射)
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Mini Line 微型器件平台
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手动镀膜系统
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热蒸发镀膜机
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CIGS太阳能电池镀膜
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DS1800 460C加工中心
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立柱移动式机床
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磨齿机
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航空航天领域数控设备
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冷热台
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轧环机
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DENBA Health健康能量仪
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DS1200 450C、DS1500 450C加工中心