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Mini Line 微型器件平台
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中国台湾
主营产品:
磁控溅射、热蒸发、电子束蒸发、ALD、PEALD、RIE、PECVD 和 LPCVD
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商品详情

为克服器件制造的设备空间限制,矽碁科技开发出适合2英寸晶圆的小型半导体制造平台-Mini Line,配置灵活,占地面积小,运行成本低。适用于科研和企业用户教学和小批量器件制造。

 

优势:

1. 设备成本低;

2. 运行能耗低;

3. 占地面积小;

4. 制造效率高;

5. 配置方式灵活;

 

可集成设备清单:

1. 多靶枪磁控溅射

2. 电子束蒸发

3. 热蒸发

4. PECVD

5. RIE

6. PEALD

7. ALE

8. Annealing

9. Plasma treatment

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