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分子束‍外延系统MBE
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中国
主营产品:
分子束外延系统(MBE)、 脉冲激光沉积系统(PLD)、 反射式高能电子衍射仪(RHEED)、蒸发源、 电子枪、离子枪等
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商品详情

埃伯仪器是专业的真空薄膜制备解决方案供应商,主要产品有分子束外延系统(MBE)、 脉冲激光沉积系统(PLD)、 反射式高能电子衍射仪(RHEED)、蒸发源电子枪离子枪等!

其中分子束外延系统,包含OCTOPLUS 800OCTOPLUS 600OCTOPLUS 500OCTOPLUS 500EBVOCTOPLUS 400OCTOPLUS-o 400OCTOPLUS 300

 

OCTOPLUS 800 分子束外延系统兼容7x2英寸,3x3英寸或单片最大6英寸衬底,适用于III/V族, II/VI族,SiGe或其他异质结构材料生长应用研发与生产。

标准MBE系统-OCTOPLUS 800

腔体尺寸: 800 mm ID,液氮冷屏

本底真空: < 5 × 10-11 mbar

真空系统: 冷泵+离子泵+钛升华泵

样品尺寸: 8",6",4",3x3",7x2"

加   热   器: 可选Ta/PG/W材质,温度可达800℃,1000℃或1400℃

源炉法兰: 12 × DN 100 CF

应用领域: SiGe,III-V, II-VI等


 

分子束外延系统,包含分子束外延系统,包含OCTOPLUS 800OCTOPLUS 600OCTOPLUS 500OCTOPLUS 500EBVOCTOPLUS 400OCTOPLUS-o 400OCTOPLUS 300具体可登录埃伯仪器官网查看

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