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分子束外延系统配件 样品架 SH
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中国
主营产品:
分子束外延系统(MBE)、 脉冲激光沉积系统(PLD)、 反射式高能电子衍射仪(RHEED)、蒸发源、 电子枪、离子枪等
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商品详情

 

样品架可用于III/V族MBE系统,GaN MBE系统,SiC和SiGe MBE系统等。钨加热样品架适用于大多数高温材料应用,III/V族材料生长MBE系统中通常使用钽丝加热器,SiGe的MBE系统推荐采用热解石墨加热器。 若样品台需要应用在氧气的环境下,则需考虑抗氧压样品台SH-O。

 

- 适用样品尺寸:2’’-6’’

- 加热温度:800-1200℃(取决于加热器材质)

- 转速0-30 rpm,连续可调节

- 加热器材质:Ta, W, PG, SiC等供选择

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