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Mini电子束蒸发源
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埃伯仪器
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中国
主营产品:
分子束外延系统(MBE)、 脉冲激光沉积系统(PLD)、 反射式高能电子衍射仪(RHEED)、蒸发源、 电子枪、离子枪等
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商品详情

可集成于Korvus HEX 和HEX-L系统中。

主要指标:

 

1.   蒸发口数量:1 / 4

2.   材料棒,坩埚尺寸:2-4 mm直径,长度27 mm,最大1 cc坩埚

3.   250 W/500 W供电电源,多通道控制,可共蒸发

4.   适用于超薄薄膜制备。

5.   靶材利用率高

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