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Kimball Physics FRA-2X1-2 电子枪及其匹配的 EGPS-101 电源旨在用于各种 UHV 表面物理、电荷中和和加工应用。它是一个完整的子系统，可以连接到用户的真空系统并打开。束流能量和束流都可以在很宽的范围内调节。

技术参数：

1 电子枪能量范围：5 eV ~ 1000 eV；

2 电子枪工作距离：10 mm ~ 50 mm；

3 电子束偏转角度：±3.5° @ 5 keV；

4 电子枪束流：1nA ~ 400 µA ;

5 束斑尺寸：2 mm ~ 50 mm；

6 阴极材料：Ta/BaO/Y2O3；

7 计算机／远程控制能力：通过50针D-sub/RS-232接口；

8 反馈稳定功能：发射电流控制；

9 双栅脉冲宽度调制范围：2 µs ~ DC，重复频率可到5 kHz；(Option)

10 脉冲宽度调制范围：20 ns ~ 100 µs；(Option)

11 法拉第杯；(Option)

Kimball Physics 是一家高科技科学仪器制造商，在超高真空电子和离子光学领域拥有 50 多年的经验。该公司专注于高稳定性电子发射器、精密静电和静磁光学器件，以及最先进的真空室和配件。电子和离子系统针对 1 eV 至 100 keV 的束流和飞安到安培的束流进行了优化。

Kimball Physics 是麻省理工学院的衍生公司，位于新罕布什尔州南部一座树木繁茂的山顶附近的六座建筑物中。作为一家由物理学家经营的公司，Kimball Physics 随时准备帮助客户解决实际、技术和基础研究问题。外部顾问团队增强了内部专业知识。强烈鼓励与开发新技术的科学家合作。

深圳海创德科技有限公司致力于半导体微加工及分析设备的销售和安装服务，产品覆盖薄膜制备，物性测量和表面分析。

经营的主要产品如下（深圳海创德科技有限公司产品列表）：

1. 台湾矽碁 SYSKEY的磁控溅射、电子束蒸发、热蒸发、PECVD、LPCVD、ALD、RIE、ICP、RTP、涂胶机和热板等薄膜技术相关的设备；

2. 美国Kimball Physics的电子枪、离子枪、真空腔体和荧光屏等部件；美国OCI的LEED和AES等各种真空组件；美国MicroXact的真空、低温和磁场等数种探针台；

3. 我们还提供上述设备的配套部件及耗材，如直流和射频电源、靶材、探针、光刻胶和ALD耗材等。

我们的产品性价比高，品质精良，性能优越，在欧美及台湾地区具有极好的口碑，国内众多的科研院所和大学均对我们的产品报以好评。

我们的合作伙伴：

台湾矽碁 SYSKEY、美国Kimball Physics、加拿大OCI Vacuum Microengineering Inc. 、美国McAllister Technical Services等。
我们期待以优质的产品，良好的服务和专业的技术为更多的客户提供解决方案！期待与您的合作！