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分子束外延系统OCTOPLUS 300
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中国
主营产品:
分子束外延系统(MBE)、 脉冲激光沉积系统(PLD)、 反射式高能电子衍射仪(RHEED)、蒸发源、 电子枪、离子枪等
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商品详情

分子束外延系统MBE)OCTOPLUS 300是一款多用途且功能完善的紧凑型MBE系统,非常适合小尺寸样品的薄膜材料生长。设计虽然紧凑,但是可以装配多个不同种类源炉,实现各种材料的外延薄膜生长。

 

腔体尺寸: 350 mm ID,液氮冷屏

本底真空: < 8 × 10-11 mbar

样品尺寸: 最大2 英寸,向下兼容小尺寸样品

加   热   器: SiC,W等多种类型可选,最高温度达1500 ℃

源炉法兰: 8× DN63CF

应用领域: 拓扑绝缘体,金属,二维材料(金属硫化物/硒化物)等

产品特点:

● 紧凑型专业MBE设计

● 应用于III/V族, II/VI族,金属,磁性材料,拓扑绝缘体,二维材料等

● 最大2 英寸样品,并向下兼容

● 8个标准的CF法兰

● 专业液氮冷屏设计

● 多种样品台加热器(Option)

● 样品台液氮冷却(Option)

我们可以根据客户需求,提供不同种类的蒸发源,包括K-cell电子束蒸发源热裂解源阀式裂解源气体裂解源等。可以使用石英晶振,反射式高能电子衍射仪(RHEED)或者四极杆质谱仪实现样品生长的原位监测。

如有设备需求或技术咨询欢迎随时联系我们

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