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分子束外延系统（MBE）OCTOPLUS-O 400是专门为氧化物薄膜生长设计的MBE系统。利用差分抽气的原理使得加热源可以在氧气或者臭氧环境下生长氧化物薄膜。适用于2英寸晶圆及2英寸以下小尺寸样品。竖直分割式腔体设计，可以装配各种源炉，实现不同材料分子束外延生长。

腔体尺寸： 450 mm ID，液氮冷屏（兼容水冷）

本底真空： < 2 × 10-10 mbar

样品尺寸： 最大2 英寸，向下兼容小尺寸样品

源炉法兰： 9 × DN63CF，最多可至12个

设计特点： 腔体差分设计，臭氧喷淋靠近衬底，源炉单独差分抽气

加   热   器： 抗氧化SiC加热器，衬底温度850℃

可   选   项： CO2激光加热，衬底温度1700℃

应用领域： 氧化物

系统特点：

● 强差分抽气，双气压区设计

● 高温下耐臭氧的SiC样品加热器

● 靠近样品台设计的臭氧喷气环

● 浓缩或者非浓缩臭氧源

● 原位生长表征

● 可伸缩式源炉设计，不破坏真空换料

● 9个MBE蒸发源CF法兰口，可选配额外3个

● 可兼容多坩埚式电子束蒸发

我们可以根据所有客户的要求，提供不同种类的蒸发源，包括K-cell、电子束蒸发源、热裂解源、阀式裂解源、气体裂解源等。可以使用石英晶振，反射式高能电子衍射仪(RHEED)或者四极杆质谱仪实现样品生长的原位监测。

OCTOPLUS-O 400的设计说明：

区域1(蓝色)

● 氧化物生长区

● O2和O3的局域高压

● 靠近样品台的臭氧喷环，喷环与样品之间距离可调

● 较低的臭氧消耗

● 高温下耐臭氧的SiC加热器

● 强差分抽气

区域2(黄色)

● 蒸发源区

● 通向区域1的开放小孔形成的低压区

● 独立的分子泵

● 明显低于区域1的气压

● 限量通过式隔板

● 无需独立地对每个蒸发源进行差分抽气

● 可集成多坩埚的电子束蒸发

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直达具体产品分子束外延系统（MBE）、 脉冲激光沉积系统（PLD)、 反射式高能电子衍射仪（RHEED)、蒸发源、 离子源‍、电子枪

北京埃伯仪器贸易有限公司是一家专业的真空薄膜制备解决方案供应商，公司团队成员具有专业

的知识背景和丰富的行业经验，我们的目的和宗旨是向中国的客户提供长期稳定和本土化快捷的服务并严格遵守当地法律。我们不仅销售品质优良的产品，同时，利用我们的专业知识和丰富经验，可以为客户提供产品咨询以及最合适的解决方案。

我们的优势在于：

专业的售前售后技术服务团队

快速响应时间

多年科研经验和科研设备销售经验

我们的合作伙伴有：

德国Dr. Eberl MBE-Komponenten GmbH公司是一家专业的从事分子束外延设备研发和制造的高科技公司。该公司由Karl Eberl博士在1989年创建，公司的首批产品是硅升华源、碳升华源和高温蒸发源。Karl Eberl博士具有超过25年的分子束外延MBE相关领域研究经验，曾经领导德国马普所在斯图加特的固体物理研究所从事分子束外延MBE研究的课题组长达10年。公司经过二十多年的发展，目前已经成长为拥有30余名员工的、产品线齐全的专业分子束外延设备供应商。公司拥有超过10名各分子束外延MBE研究领域的专家和博士毕业生，产品线涵盖成套MBE系统和各主要部件。提供的成套系统包括Octoplus 300\400\500等多个型号，衬底尺寸从1英寸到6英寸，按照材料种类可分为SiGe MBE, III-V MBE, II-VI MBE, 金属MBE，N化物MBE，拓扑绝缘体MBE，氧化物MBE等等。所提供的主要部件包括各种普通热丝束源炉、电子束蒸发源、蒸发源、热裂解源、阀式裂解源、原子氢源以及加热样品台等。该公司产品性能优越，品质优良，在MBE市场上赢得良好的口碑。

荷兰Twente Solid State Technology BV（TSST）公司专注于为用户提供定制化的脉冲激光沉积系统（PLD/LMBE），以及薄膜制备解决方案，具有20年研究与生产(脉冲激光沉积)薄膜沉积系统的经验。TSST与世界最大的纳米与微系统技术研究中心之一 ——荷兰Twente大学MESA+ Institute保持着密切合作。

德国STAIB Instruments GmbH公司是一家世界领先的提供表面分析解决方案的公司(RHEED)。该公司成立于1987年，至今已经有将近30年的相关研发经验。公司产品范围覆盖反射式高能电子衍射仪(RHEED)，低能电子枪、高能电子枪和离子枪，能量分析器，二次电子发射系数测试系统等。该公司的产品研发遵循高性能、高可靠性、使用方便的原则，在市场上享有良好的声誉，用户遍布世界各研究单位。其标准反射式高能电子衍射仪RHEED和TorrRHEED系列产品被世界绝大多数MBE和PLD系统制造商所采用，近乎成为行业标准。

瑞士Ferrovac GmbH公司是一家专业的设计制造高品质真空零部件的公司，成立于1996年，为瑞士联邦理工学院的Spin-off公司。公司主要专注于超高真空环境下使用的零部件产品的设计和制造，比如传样杆，Wobblestick机械手等。同时公司也开发了便携式的超高真空样品转移腔（UHV suitcase）和扫描探针显微镜。

英国Korvus Technology Ltd. 公司专注于研发制造小型化的、低成本的、普适性的镀膜系统，其开发的HEX系列桌面型多功能镀膜仪一经推出就受到了广大用户的关注。该系列产品设计紧凑、占地小、模块化部件装配，可随意搭配磁控溅射、电子束蒸发以及热蒸发等多种镀膜形式。非常适用于实验室空间紧张、对不同镀膜方式有需求的客户。

德国CryoVac GmbH & Co. KG 公司拥有将近40年的定制低温设备和系统的制造经验，主要用户为工业研发和学术研发单位，公司有能力提供用户需求制作低温系统或者按照用户应用需要设计定制的低温系统。可为各个领域提供各种开闭循环低温系统，包括，低温光谱测量，低温电学测量，样品在真空或者气氛环境中，强磁场应用，样品操纵系统和各种磁光，电光效应测试系统。

德国NextNano GmbH公司致力于研发电子及光电子半导体纳米器件以及材料的仿真模拟软件解决方案，该软件也可以被应用于半导体生物芯片器件中。我们的客户主要集中在电子及光电领域领先的半导体公司的研发部门以及学术研究机构。软件的应用范围包括量子阱，量子线，量子点，纳米线，纳米微晶体，量子级联激光器（QCL）， 共振隧穿二极管（RTD），高电子迁移率晶体管（HEMT）， Nano-MOSFETs，LEDs，激光器（e.g. VCSEL）， 高效太阳能板，有机半导体，离子敏场效应管（ISFET）以及石墨烯，“应变硅， “低含氮化合物”等新型材料。此外，我们也活跃于自旋电子学以及量子计算机等新兴领域。我们产品的独特卖点在于其能够对任意的几何形状以及材料组成运用相对而言更好的物理学方法进行量子力学的计算。 也就是说， nextnano 软件并不局限于特定的器件类型，而是一款适用于现有以及新型器件，譬如蛋白传感器（生物芯片）的理想产品。

德国CRYSTAL 拥有多年的单晶，玻璃，陶瓷等材料加工的经验，很多研发单位和工业领域公司都选用我们的产品。我们不仅提供高科技产品同事也提供综合的服务，我们的产品广泛应用于薄膜技术，传感器技术，设备加工技术和激光技术。我们提供各种标准产品，同时也可以给用户提供材料加工服务。

德国Focus GmbH公司专注于精密电子束相关技术，可为用户提供定制化精密电子束焊接机(MEBW60)，精密真空激光焊接(LaVa)，拥有近30年的电子束技术研究和经验。

德国Research Instruments 公司是属于Bruker的一个专注于研究室用的深紫外和极紫外光相关的技术的高科技公司，成立于2009年。主要设备制造经验集中在超高真空超洁净纳米定位系统，各种类型的深（极）紫外光源，光学元件，集成的分析光谱仪器，软X射线解决方案等。

我们提EUV/XUV分析测试系统相关的OEM组件：包括EUV 光源，EUV CCD相机模块，EUV光谱分析模块，EUV能量监控模块，EUV聚焦模块.

北京埃伯仪器贸易有限公司是一家专业的真空薄膜制备解决方案供应商，公司团队成员具有专业的知识背景和丰富的行业经验，我们的目的和宗旨是向中国的客户提供长期稳定和本土化快捷的服务并严格遵守当地法律。我们不仅销售品质优良的产品，同时，利用我们的专业知识和丰富经验，可以为客户提供产品咨询以及最合适的解决方案。

我们的优势在于：

专业的售前售后技术服务团队

快速响应时间

多年科研经验和科研设备销售经验

我们的合作伙伴有：

德国Dr. Eberl MBE-Komponenten GmbH公司、荷兰Twente Solid State Technology BV（TSST）公司、

德国STAIB Instruments GmbH公司、瑞士Ferrovac GmbH公司、英国Korvus Technology Ltd. 公司、德国CryoVac GmbH & Co. KG 公司、德国NextNano GmbH公司、德国CRYSTAL公司、德国Focus GmbH公司、德国Research Instruments 公司。

北京埃伯仪器贸易有限公司是一家专业的真空薄膜制备解决方案供应商，公司团队成员具有专业的知识背景和丰富的行业经验，我们的目的和宗旨是向中国的客户提供长期稳定和本土化快捷的服务并严格遵守当地法律。我们不仅销售品质优良的产品，同时，利用我们的专业知识和丰富经验，可以为客户提供产品咨询以及最合适的解决方案。

德国Dr. Eberl MBE-Komponenten GmbH公司、荷兰Twente Solid State Technology BV（TSST）公司、

德国STAIB Instruments GmbH公司、瑞士Ferrovac GmbH公司、英国Korvus Technology Ltd. 公司、德国CryoVac GmbH & Co. KG 公司、德国NextNano GmbH公司、德国CRYSTAL公司、德国Focus GmbH公司、德国Research Instruments 公司。