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分子束外延系统OCTOPLUS 600
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中国
主营产品:
分子束外延系统(MBE)、 脉冲激光沉积系统(PLD)、 反射式高能电子衍射仪(RHEED)、蒸发源、 电子枪、离子枪等
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商品详情

分子束外延MBE系统

OCTOPLUS 600 分子束外延系统兼容3x2英寸,或单片6英寸衬底,具有高可靠性和多功能性,适用于III/V族, II/VI族或其他异质结构材料生长应用研发与生产。

标准MBE系统-OCTOPLUS 600

腔体尺寸:600 mm ID,液氮冷屏

本底真空:< 5 × 10-11 mbar

真空系统:冷泵+离子泵+钛升华泵

样品尺寸:4或者6英寸,向下兼容   

加热器:   可选Ta/PG/W材质,温度可达800 °C,1000 °C或1400 °C

源炉法兰:12 × DN 100 CF

应用领域:SiGe,III-V, II-VI, 二维材料、拓扑超导材料等

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