Sumec menuSumec menu

苏美达达天下

全球设备交易服务平台

search 搜索
Image
English
Image
+86 25-84532303
Image
sunyuchen@sumec.com.cn
1 / 2
泓浒自研真空洁净机器人
icon
发布需求发布需求
泓浒半导体
泓浒半导体 icon
查看更多
发布需求发布需求
泓浒半导体
泓浒半导体 icon
中国
主营产品:
设备前端模块(EFEM)、品圆倒片机(Sorter)、真空传输模块(VTM)等
icon

商品详情

R(径向)轴:

    量程:1010mm

    重复性:±0.05mm

T(旋转)轴:

     范围:无限旋转

     重复定位精度:±0.003°

Z(垂直)轴:

     50mm、100mm、150mm

     重复定位精度:±0.05mm

低泄漏率:<1*10^(-9) std.cc/sec-He

高真空度:<5*10^(-8)Torr

洁净等级:ISO 1级

店铺所有产品
设备前端模块/晶圆分选机店铺所有产品
真空传输模块店铺所有产品
8寸晶圆装载系统店铺所有产品
泓浒自研大气洁净机器人店铺所有产品
泓浒自研真空洁净机器人店铺所有产品