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真空传输模块
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泓浒半导体
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中国
主营产品:
设备前端模块(EFEM)、品圆倒片机(Sorter)、真空传输模块(VTM)等
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商品详情

产品优势:

  • 高真空度   5.0x10-8 Torr(取决于真空系统);
  • 低漏率     <1.0x10-8 cc/sec He  ;
  • 高安全性       严谨完整的槽阀、工艺模块、机器人等硬件互锁设计 ;
  • 支持100/150/200/300mm晶圆传送;
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