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8寸晶圆装载系统
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中国
主营产品:
设备前端模块(EFEM)、品圆倒片机(Sorter)、真空传输模块(VTM)等
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商品详情

技术优势:

  • 具有150/200mm多规格晶圆兼容处理能力;
  • 精确可靠的运动控制,性能可对标国际知名厂商产品;
  • 传送周期<90s;重新定位精度+_0.127mm;方向误差+_0.2mm;
  • 洁净等级满足class1;
     
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