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设备前端模块/晶圆分选机
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中国
主营产品:
设备前端模块(EFEM)、品圆倒片机(Sorter)、真空传输模块(VTM)等
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商品详情

EFEM:

  • 提供兼容100/150/200/300mm多规格晶圆传送方案;
  • 提供定制化解决方案:包括机架、承载台、洁净机器人、晶圆夹持方式、净化为环境等;
  • 提供特殊工艺制程传送解决方案,包括耐高温、耐腐蚀等;
  • 支持多种通信协议;
  • 支持定制化通信接口;
  • 满足超洁净度:洁净等级class 1;
  • 高稳定性

Sorter:

  • 提供兼容100/150/200/300mm多规格晶圆分选方案;
  • 提供定制化晶圆分选及传送解决方案:包括晶圆读码器、反转结构和化学过滤器,布局方案(2-10个装载端口)等;
  • 高速度    320片/时,含晶圆读码功能;1,100片/时,不含晶圆读码功能;
  • 高稳定性     关键部件MCBF 15,000,000次;
  • 超洁净     洁净等级:ISO class1,PWP指标:0.05@0.037um;
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