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诚锋 图形晶圆缺陷检测设备(820系列)
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主营产品:
晶圆制造光学量检测设备、掩模版制造光学量检测设备、晶圆封测光学量检测设备、被动元件和引线框架AOI设备
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商品详情

CFW820是一款用于FAB产线缺陷监控的光学检测设备,可对标国外竞品Camxxxx的Eagle系列机台,可应用在ADI/AEI/CMP/OQC等多个工艺站,能够帮助客户快速筛选产线上影响产品质量的典型图形缺陷和表面缺陷,确保各种工艺稳定运行。拥有超高的wafer传输兼容性,可以兼容Thin/Taiko/Standard wafer,配置多种光学放大倍率,具备双通道检测能力,能够兼顾灵敏度和吞吐率,搭配灵活易用的recipe 管理功能,基于深度学习的ADC算法,助力客户产线稳定运行。


 

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