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微光显微镜

LUXET InGaAs 100 是一款微光显微成像系统。配备了全自动运动系统、深度制冷型InGaAs相机、不同倍率的显微镜头以及锁相测量模式,可以适用于半导体器件的失效点定位。

适用范围

1.P-N接面漏电/崩溃;

2.开路/短路误动作电晶体;

3.闩锁效应;

4.闸极氧化层漏电;

5.细丝残留多晶硅;

6.矽基底损害

深度制冷InGaAs相机

波长范围覆盖 900-1700 nm

尺寸参数

规格型号:InGaAs 100

1350(W)x1150(D)x2080(H) mm

重量：Approx.1900 kg

工作条件

电源：230 V ± 10% / 50Hz 功率2300W

真空：> 50 kPa

要求干净、干燥、无油

凌光红外成立于2021年12月，专注于高端实验室检测仪器的国产化，解决高精设备迫在眉睫的卡脖子问题。目前公司主要设计生产半导体电性失效分析设备。公司团队来自中科大，复旦，交大，浙大等国内知名高校，在各自行业内均有十数年的丰富经验和极强的研发能力。

2021.12 凌光红外成立

2022.12 交付首台制冷型锁相红外显微镜Thermo 100

2023.03 交付首台InGaAs微光显微镜InGaAs 100

2023.05 交付首台非制冷锁相红外显微镜Thermo 50

2025.07  交付客户台数45+

凌光红外成立于2021年12月，专注于高端实验室检测仪器的国产化，解决高精设备迫在眉睫的卡脖子问题。目前公司主要设计生产半导体电性失效分析设备。公司团队来自中科大，复旦，交大，浙大等国内知名高校，在各自行业内均有十数年的丰富经验和极强的研发能力。