Sumec menuSumec menu

苏美达达天下

全球设备交易服务平台

search 搜索
Image
English
Image
+86 25-84532303
Image
T-world@sumec.com.cn
1 / 1
德派精密 高端电子束蒸发光学镀膜机
icon
发布需求发布需求
德派精密
德派精密 icon
查看更多
发布需求发布需求
德派精密
德派精密 icon
中国
主营产品:
镀膜设备+配套自动化设备
icon

商品详情

特点

该设备专门为高端精密光学薄膜器件镀膜生产而设计,采用进口磁悬浮分子泵高真空抽气机组,配置射频离子源和光学膜厚控制仪,全自动镀膜操作系统,特别适合可镀制高档多层光学薄膜,如各种分光膜、带通滤光膜、IR-CUT膜、介质高反膜等应用。

 

技术参数

主体结构:箱式立式前开门(内腔尺寸:∅1550mmx1500mm)

空载极限真空度:8x 10^(-5)Pa(12小时,空载)

工作真空度:5x 10^(-3)Pa,<12min

电子枪 :E型双枪,1个12穴坩埚,1个环形坩埚

膜厚控制:六探头石英晶控+光学膜厚控制仪

离子源:17cm或25cm射频离子源

 烘烤加热系统 :上下烘烤,*大烘烤功率24KW,上中下温度<5℃

 全自动控制系统 :触摸屏+欧姆龙PLC+工控机控制,工艺参数可记录追溯

 *大消耗功率:约55KW

店铺所有产品
ITO +铜 In-line 连续线店铺所有产品
全自动玻璃覆膜机店铺所有产品
全自动上下伞具--电子束蒸发镀膜机店铺所有产品
ALD原子层沉积系统店铺所有产品
DLC连续线店铺所有产品
磁控溅射光学镀膜机店铺所有产品