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德派精密 高端电子束蒸发光学镀膜机

价格:
面议
品牌名称:
德派精密国家地区:
中国型号:
DE-1550G
发布需求
德派精密 

国别: 中国
主营产品: 镀膜设备+配套自动化设备
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品牌名称:
德派精密国家地区:
中国型号:
DE-1550G
发布需求
德派精密 
中国
主营产品:
镀膜设备+配套自动化设备
商品详情
特点
该设备专门为高端精密光学薄膜器件镀膜生产而设计,采用进口磁悬浮分子泵高真空抽气机组,配置射频离子源和光学膜厚控制仪,全自动镀膜操作系统,特别适合可镀制高档多层光学薄膜,如各种分光膜、带通滤光膜、IR-CUT膜、介质高反膜等应用。
技术参数
主体结构:箱式立式前开门(内腔尺寸:∅1550mmx1500mm)
空载极限真空度:8x 10^(-5)Pa(12小时,空载)
工作真空度:5x 10^(-3)Pa,<12min
电子枪 :E型双枪,1个12穴坩埚,1个环形坩埚
膜厚控制:六探头石英晶控+光学膜厚控制仪
离子源:17cm或25cm射频离子源
烘烤加热系统 :上下烘烤,*大烘烤功率24KW,上中下温度<5℃
全自动控制系统 :触摸屏+欧姆龙PLC+工控机控制,工艺参数可记录追溯
*大消耗功率:约55KW
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