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德派精密 双腔室自动化磁控溅射镀膜机

价格:
面议
品牌名称:
德派精密国家地区:
中国型号:
DS-2080
发布需求
德派精密 

国别: 中国
主营产品: 镀膜设备+配套自动化设备
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品牌名称:
德派精密国家地区:
中国型号:
DS-2080
发布需求
德派精密 
中国
主营产品:
镀膜设备+配套自动化设备
商品详情
特点
DS-2080是一款用于各种光学多层膜、功能膜生产的自动化镀膜设备。采用双腔体(过渡腔体、工艺腔体)设计,在真空中进行两个腔体中的挂板交换。前段自动化上下挂板,自动化镀膜制程,大大减少人力工作量。
技术参数
设备结构:双腔体
内腔尺寸:2080mm(宽)x2000mm(高)
极限真空度 :2x10^(-4)Pa(12小时空载)
装炉量 :挂板20组
溅射方式:中频磁控溅射,可配置4对1800圆柱靶
转架系统:0-100rpm可调,配置掉板检测
离子源:阳极层离子源(清洁用)和RF-ICP离子源(工艺用)
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