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德派精密 双腔室自动化磁控溅射镀膜机
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中国
主营产品:
镀膜设备+配套自动化设备
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商品详情

特点

DS-2080是一款用于各种光学多层膜、功能膜生产的自动化镀膜设备。采用双腔体(过渡腔体、工艺腔体)设计,在真空中进行两个腔体中的挂板交换。前段自动化上下挂板,自动化镀膜制程,大大减少人力工作量。

 

技术参数

设备结构:双腔体

内腔尺寸:2080mm(宽)x2000mm(高)

 极限真空度 :2x10^(-4)Pa(12小时空载)

 装炉量 :挂板20组

 溅射方式:中频磁控溅射,可配置4对1800圆柱靶

转架系统:0-100rpm可调,配置掉板检测

 离子源:阳极层离子源(清洁用)和RF-ICP离子源(工艺用)

 

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