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德派精密 全自动上下伞具--电子束蒸发镀膜机
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中国
主营产品:
镀膜设备+配套自动化设备
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商品详情

特点

该设备为高端精密光学薄膜器件镀膜生产而设计。配备更多的电子枪穴位,配备大口径射频离子源、可靠的晶控和光控控制器,全自动镀膜操作系统。它具有更好的装载量,适合于高端多层光学薄膜,例如各种分光膜、通滤光膜、IR-CUT薄膜、介质高反膜等应用。

 

 

技术参数

主体结构 :箱式立式前开门(选配自动化上下伞模块)

空载极限真空度 :8x 10^(-5)Pa (12小时,空载 )

电子枪 :270°双枪,24穴坩埚(根据工艺配置) 

 离子源:25cm口径高性能射频源

 烘烤加热系统:伞上下烘烤,伞上中下温差<5°

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