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德派精密 自动化三腔室磁控溅射镀膜机
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中国
主营产品:
镀膜设备+配套自动化设备
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商品详情

特点

1、DS-3080型磁控溅射镀膜机是面向车载、盖板等行业和生产需要而开发设计的机型。

2、设备采用三腔体和真空中整鼓平移结构设计,转架自动化出入腔体,手工或机械人装卸挂板。连续式工作方式,节省抽放真空时间,具有优良的生产效率。多个不同功能的腔室、组件均采用模块化设计,互换性高,能够根据客户不同需求,快速设计针对性工艺设备。使用过程中有工艺更换或新增,也能快速改造、投产。

3、该机型整体结构安排合理,运行稳定,工艺可靠,生产周期短,适合大规模生产,应用于光学AR膜,超硬AR膜,各种颜色膜和 AF膜层的镀制。

4、设备配置低能离子源,进行纳米级叠层氧化膜成膜。

 

技术参数

内腔尺寸:宽2050*高2280mm

工艺室极限真空:2.1x10^(-4)Pa

抽速:26分钟内从大气至5x10^(-3)Pa

镀膜方式:中频磁控溅射

工件装载:多腔体整股运输,可选配机械手上下料

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